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        021-39530106
        工具顯微鏡
        晶圓半導體臺階測高顯微鏡-晶圓半導體檢查顯微鏡-上海思長約光學

        視場寬闊,可得清晰無閃爍正像 
         高精度測量,同時具有大測量范圍和高精度,適用于各種測量 
         可選用高NA物鏡,滿足長工作距離的測量要求 
         照明裝置(反射/透射)可選用高亮度LED的照明或鹵素照明 
        利用可變孔徑光闌進行無衍射觀察測量 
        各類尺寸的標準工作臺 

        服務熱線:021-39530106
        產品詳情

        晶元半導體臺階測高顯微鏡介紹 
        VMM測量顯微鏡系列是觀察、測量和處理系統化的顯微鏡陣容。 
        特點 
        ● 視場寬闊,可得清晰無閃爍正像 
        ● 高精度測量,同時具有大測量范圍和高精度,適用于各種測量 
        ● 可選用高NA物鏡,滿足長工作距離的測量要求 
        ● 照明裝置(反射/透射)可選用高亮度LED的照明或鹵素照明 
        ● 利用可變孔徑光闌進行無衍射觀察測量 
        ● 各類尺寸的標準工作臺 
        ● 快速釋放裝置便于測量工件大或測量工件數量多的快速移動工作臺 
        ● 高位目鏡觀察 
        ● 便捷CCD圖像成像,可選配多種CCD數碼相機 
        觀察成像


        偏光觀察 
        觀察過濾后只有一個方向振動的光。適于觀察具有特殊光學特性的材料,如礦石和液晶。

        微分干涉對比觀察 
        在檢測金屬、液晶和半導體表面的微小劃痕和階差時很有效。

        暗視場觀察 
        擋住直射到物體上的光,只觀察散射光,通過高對比度能觀察到在亮視場看不到的劃痕和粉末。

        亮視場觀察 
        最普通的觀察方式,直接觀察從工件表面反射的光。
         

        新功能增強Z軸測量精度 
        ● 輔助對焦(FA) 
        新近研發的分光棱鏡輔助對焦(FA)提供更銳利的圖案,可在Z軸測量期間提供精確對焦。由于不同物鏡焦深差異導致的測量誤差被降到最低。


        對焦

        前端對焦

        后端對焦

        規格 
        ● 無限遠系統,管鏡200mm
        ● 傾斜角度30°,瞳孔距離55-75mm,正像 
        ● 高眼點,大視場WF10/22
        ● 鼻輪螺紋M26X0.706
        ● Z軸的長度180mm,微動精度0.002mm,測量精度(at20℃),XY-軸的(2.5+0.02L)um,L=測量長度(mm)在沒有放物體分辨率為0.001mm
        ● 12V50W反射鹵素燈 
        ● 3W高亮度LED光源 
        ● 可配置輔助調焦裝置(FA)

        技術參數

        型號

        VMM-8Ⅰ型

        VMM-8Ⅱ型

        VMM-8 Ⅲ型

        VMM-8
        Ⅳ型

        VMM-12Ⅰ型

        VMM-12Ⅱ型

        VMM-12Ⅲ型

        VMM-12
        Ⅳ型

        鏡筒

        1×光學管徑,雙目目鏡,帶有CCD1/2靶面接口

        觀察圖像

        正像

        觀測方法

        輔助對焦系統

        -

        -

        頭部或照明器FA系統

        頭部或照明器FA系統

        -

        -

        頭部或照明器FA系統

        頭部或照明器FA系統

        微分干涉對比

        可選微分觀測對比

        目鏡

        10X(視場直徑:25mm),可選十字分劃板,可選:視場直徑:22mm

        物鏡(100x選配)

        95mm 2x,
        5x,10x,
        20x,50x

        60mm 5x,
        10x,20x,
        50x

        95mm 2x,
        5x,10x,
        20x,50x

        60mm
        5x,
        10x,20x,
        50x

        95mm 2x,
        5x,10x,
        20x,50x

        60mm 5x,
        10x,20x,
        50x

        95mm 2x,
        5x,10x,
        20x,50x

        60mm
        5x,
        10x,20x,
        50x

        照明裝置

        反射照明

        內置孔徑光闌,LED光源,無極亮度調節,可選鹵素照明

        透射照明

        白色LED照明,無極亮度調節

        工作臺

        XY測量范圍

        200*100

        200*100

        200*100

        200*100

        300*200

        300*200

        300*200

        300*200

        快速釋放裝置

        X軸和Y軸(標配)

        調零開關

        X軸和Y軸(標配)

        數顯計器

        顯示軸

        2軸或3軸

        分辯率

        0.0005mm(可選0.00002mm)

         

        VMM-8-Ⅰ型主圖

        VMM-8-Ⅱ型主圖

        VMM-8-Ⅲ型FA主圖

        VMM-8-Ⅳ型FA主圖

        VMM-12-Ⅰ型主圖-95mm

        VMM-12-Ⅱ型主圖-60mm

        VMM-12-Ⅲ型FA主圖-95mm

        VMM-12-Ⅳ型FA主圖-60mm

        介紹 
        95MM金相長工作距離明場物鏡。 
        特點 
        ● 可見光成像 
        ● 無限遠光學系統,管徑焦距200mm
        ● 物鏡螺紋M26 x 0.706
        技術參數

        平場復消色差M PLAN APO L

        數值孔徑N.A.

        工作距離W.D.

        焦距f

        景深D.F.

        分辨率R

        視場

        目鏡(WF10/24)

        1/2"CCD攝像頭

        2X

        0.055

        34.6

        100

        91μ

        Φ12

        2.4x3.2

        5X

        0.14

        45

        40

        14μ

        Φ4.8

        0.96x1.28

        10X

        0.28

        34

        20

        3.5μ

        Φ2.4

        0.48x0.64

        20X

        0.29

        30.8

        10

        3.5μ

        Φ1.2

        0.24x0.32

        50X

        0.42

        20.5

        4

        1.6μ

        0.7μ

        Φ0.45

        0.10x0.13

        100X

        0.55

        12.5

        2

        0.9μ

        0.5μ

        Φ0.24

        0.05x0.06

         

         

         
         

         
         

         

        介紹 
        60MM金相平場半復消色差物鏡。 
        特點 
        ● 可見光成像 
        ● 物鏡螺紋M26 x 0.706
        技術參數

        名稱

        物鏡

        目鏡(WF10/25)

        數值孔徑N.A.

        有效工作距離W.D.(mm)

        焦距f′(mm)

        分辨率R(μm)

        物理焦深±Δp(μm)

        物方視場(mm)

        焦點深度±Δ(μm)

        5X

        0.15

        11.6

        40

        2.1

        16.3

        Φ5

        38.3

        10X

        0.3

        6.3

        20

        0.9

        3.1

        Φ2.5

        7.8

        20X

        0.4

        10.3

        10

        0.69

        1.8

        Φ1.25

        3.5

        50X

        0.8

        2

        4

        0.34

        0.4

        Φ0.5

        0.8

        100X

        0.80

        1.96

        2

        0.34

        0.2

        Φ0.25

        0.6

         

         

         

         
         

         
         

           

        介紹 
        45MM金相平場消色差明場物鏡。 
        特點 
        ● 可見光成像 
        ● 無限遠光學系統,管徑200mm
        ● 物鏡螺紋M20.32
        技術參數

        名稱

        物鏡

        目鏡(WF10/25)

        數值孔徑N.A.

        有效工作距離W.D.(mm)

        焦距f′(mm)

        分辨率R(μm)

        物理焦深±Δp(μm)

        物方視場(mm)

        焦點深度±Δ(μm)

        5X

        0.13

        11.6

        40

        2.1

        16.3

        Φ5

        38.3

        10X

        0.3

        6.4

        20

        0.9

        3.5

        Φ2.5

        7.8

        20X

        0.4

        11.1

        10

        0.7

        1.6

        Φ1.25

        3.5

        50X

        0.55

        8.2

        4

        0.5

        10.9

        Φ0.5

        1.4

        100X

        0.80

        2

        2

        0.4

        0.4

        Φ0.25

        0.7

         

         

         

         

         
         

         
         

           

        微分干涉介紹 
        微分干涉DIC在正交偏光的基礎上,插入DIC棱鏡,即可進行DIC微分干涉相襯觀察。使用DIC技術,可以使物鏡表面微小的高低差產生明顯的浮雕效果,極大的提高圖像的對比度。 
        5X、10X、20X專為DIC設計,使得整個視場的干涉色一致,微分干涉效果非常出色,高倍物鏡DIC效果也較好。


         

        版權所有 ? 上海思長約光學儀器有限公司 備案號:滬ICP備09005536號-2
        技術支持:七星網絡
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