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        021-39530106
        正置金相顯微鏡
        MX6R半導體檢查顯微鏡(明場、暗場、斜照明、偏光、DIC)

        MX6R半導體檢查顯微鏡各項操作根據人機工程學設計,Zui大限度減輕操作者的使用疲勞。其模塊化的部件設計,可對系統功能進行自由組合。涵蓋明場、暗場、斜照明、偏光、DIC微分干涉等多種觀察功能,可根據實際應用,進行功能選擇。

        服務熱線:021-39530106
        產品詳情

        MX6R各項操作根據人機工程學設計,Zui大限度減輕操作者的使用疲勞。其模塊化的部件設計,可對系統功能進行自由組合。涵蓋明場、暗場、斜照明、偏光、DIC微分干涉等多種觀察功能,可根據實際應用,進行功能選擇。

        寬視場鉸鏈式三目觀察筒

        正像鉸鏈三目觀察筒,所成像的方位與物體實際方向相同,物體移動的方向跟像面移動的方向相同,便于觀察與操作。

        大行程移動平臺設計

        采用6寸平平臺設計,行程158×158mm,可適用于對應尺寸的晶圓或FPD檢測,也可用于小尺寸樣品的陣列檢測。

        高精度物鏡轉換器

        轉換器采用精密軸承設計,轉動手感輕巧舒適,重復定位精度高,物鏡轉換后的同心度也得到較好的控制。

        高精度物鏡轉換器

        安全、穩重的機架結構設計

        工業檢測級顯微鏡鏡體,低重心、高剛性、高穩定性金屬機架,保證了系統的抗震能力與成像穩定性。

        其前置低手位粗微調同軸調焦機構,內置100-240V寬電壓變壓器,可適應不同地區的電網電壓。底座內部設計有風循環散熱系統,長時間使用也不會使機架過熱。

        技術參數

        光學系統

        無限遠色差光學系統

        觀察方式

        明場/暗場/偏光/DIC

        觀察筒

        30°傾斜,正像,無限遠鉸鏈三通觀察筒,瞳距調節:50-76mm,分光比100:0或0:100

        30°傾斜,倒像,無限遠鉸鏈三通觀察筒,瞳距調節:50-76mm,三檔分光比0:100;20:80;100:0
        5-35°傾角可調,正像,無限遠鉸鏈三通觀察筒,瞳距調節:50-76mm,單邊視度調節:±5屈光度,兩檔分光比100:0或0:100

        目鏡

        高眼點大視野平場目鏡PL10X/22mm,視度可調,可帶側微尺

        高眼點大視野平場目鏡PL10X/23mm,視度可調
        高眼點大視野平場目鏡PL10X/25mm,視度可調
        高眼點大視野平場目鏡PL10X/26.5mm,視度可調
        高眼點大視野平場目鏡PL15X/16mm

        物鏡

        無限遠長工作距平場明暗場消色差金相物鏡5X-DIC、10-DICX、20X-DIC、50X、100X

        明暗場半復消金相物鏡5X、10X、20X、50X、100X

        轉換器

        5孔內傾式明暗場轉換器,帶DIC插槽

        調焦機構

        反射式機架 , 前置低手位粗微同軸調焦機構。粗調行程 33mm, 微調精度 0.001mm. 帶有防止下滑的調節松緊裝置和隨機上限位裝置.內置 100-240V 寬電壓系統 , 帶光亮度設定暗扭與復位按扭

        透、反射式機架 , 前置低手位粗微同軸調焦機構。粗調行程 33mm, 微調精度 0.001mm. 帶有防止下滑的調節松緊裝置和隨機上限位裝置.內置 100-240V 寬電壓系統,5W暖色LED透射光照明系統,上下光獨立可控

        載物臺

        6英寸三層機械移動平臺,低手位X、Y方向同軸調節;平臺面積445mm×240mm,移動范圍:158mm×158mm;帶離合器手柄,可用于全行程范圍內快速移動;玻璃載物臺板(反射用)

        6英寸三層機械移動平臺,低手位X、Y方向同軸調節;平臺面積445mm×240mm,反射照明移動范圍:158mm×158mm;透射照明移動范圍:100×100mm;帶離合器手柄,可用于全行程范圍內快速移動;玻璃載物臺板(透、反射用)

        照明系統

        明暗場反射照明器 , 帶可變孔徑光闌,視場光闌 , 中心均可調 ;帶明暗場照明切換裝置 ;帶濾色片插槽與偏光裝置插槽

        攝影攝像

        0.35X/0.5X/0.65X/1X攝像接筒,C型接口,可調焦

        其他

        起偏鏡插板,固定式檢偏鏡插板,360°旋轉式檢偏鏡插板 ;反射用干涉濾色片組 ;高精度測微尺 ;DIC 微分干涉組件

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